株式会社プリヂストン
　株式会社ブリヂストン（社長 荒川　詔四）が、独自に開発した高純度ファインセラミックス※1 部材「ピュアベータ」が、日立環境財団と株式会社日刊工業新聞社が主催する平成22年度（第37回）「環境賞」優秀賞を受賞し、本日表彰式が行われました。



　環境賞とは、1974年に発足した表彰制度であり、環境への負荷が少なく持続的発展が可能な研究・開発・調査について、画期的な成果を上げるか、その成果が期待される、個人・企業・団体を表彰するもので、当社の製品が環境賞を受賞するのは今回が初めてです。



　高純度ファインセラミックス部材「ピュアベータ」は、当社が独自に開発したSiC（炭化ケイ素）からなる焼結体※2 で、純度が高く、耐食性に優れ、ダイヤモンドに次ぐ硬度を持ち、1000℃以上の高温にも耐え得る優れた特性をもっています。既に、半導体製造プロセスにおける各種製造装置の部品として、多くの半導体製造装置メーカーやデバイスメーカーにご使用いただいております。



　半導体製造装置の部品としてこれまで一般的に使用されている石英（二酸化ケイ素）やシリコン（ケイ素）等は、使い捨てされることが一般的でしたが、高純度ファインセラミックス部材「ピュアベータ」は、上記の優れた特性により、洗浄して繰り返し使用することができ、長期使用が可能※3 なため、省資源化による環境貢献度が高く、半導体製造プロセスのコスト削減にも寄与します。



　また、当社は現在、次世代半導体ウエハ（基板）としての活用が期待される「SiC単結晶ウエハ」の開発にも着手しており、早期実用化に向け開発に取り組んでおります。


※1 一般のセラミックス（窯業製品）とは異なり、原料粉末から最適に精製・調合してつくられる高性能なセラミックスのこと。
※2 原料となる粉体に熱をかけ、焼き固めたもの。
※3 使用・洗浄頻度は状況によって異なるが、通常3ヶ月程度で廃棄される製品が約10年以上継続して使用された（約40倍の寿命）例もある。（当社調べ）